| 发明名称 |
APPARATUS FOR FORMING THIN SILICON FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58208118(A) |
申请公布日期 |
1983.12.03 |
| 申请号 |
JP19820088845 |
申请日期 |
1982.05.27 |
| 申请人 |
KOGYO GIJUTSUIN (JAPAN) |
发明人 |
NISHIURA SHINJI;FUJISAWA HIROBUMI;YAMADA KATSUMI |
| 分类号 |
C23C16/24;C01B33/02;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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