CONNECTION HOLE FORMING METHOD,申请号JP19950130212-传众专利搜索

发明名称	CONNECTION HOLE FORMING METHOD
摘要
申请公布号	JPH08330418(A)	申请公布日期	1996.12.13
申请号	JP19950130212	申请日期	1995.05.29
申请人	SONY CORP	发明人	NAGAYAMA TETSUJI
分类号	H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
地址