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发明名称 SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号 JPS58207942(A) 申请公布日期 1983.12.03
申请号 JP19820090805 申请日期 1982.05.27
申请人 FUJITSU KK 发明人 MIYAZAKI MASAHIRO
分类号 C23C14/34;B01J19/08 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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