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发明名称 VORRICHTUNG ZUM AUTOMATISCHEN TRANSPORT SCHEIBENFOERMIGER OBJEKTE
摘要
申请公布号 DE3219502(A1) 申请公布日期 1983.12.01
申请号 DE19823219502 申请日期 1982.05.25
申请人 ERNST LEITZ WETZLAR GMBH 发明人 JACOBY,HANS-DIETER,DIPL.-ING.;SCHMIDT,PETER,DIPL.-ING.
分类号 B65G60/00;B65G1/00;B65G1/07;B65G49/07;B65H5/10;B65H5/12;H01L21/677;(IPC1-7):B65G47/91 主分类号 B65G60/00
代理机构 代理人
主权项
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