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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR PHOTOCHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号
IL60501(A)
申请公布日期
1983.11.30
申请号
IL19800060501
申请日期
1980.07.04
申请人
HUGHES AIRCRAFT CO
发明人
分类号
H01L21/205;C23C16/48;H01L21/31;H01L21/318;(IPC1-7):C23C13/08;B05D7/24;H01L21/56
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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