| 摘要 |
<p>본 고안은 잉크 건조장치가 구비된 웨이퍼 프로버에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 탐침이 완료된 웨이퍼의 이송경로상에 잉크 건조장치를 설치하여 다른 웨이퍼의 탐침중에 상기 탐침 완료된 웨이퍼의 잉크를 건조할 수 있도록 함으로써 보다 빠르면서도 수월하게 잉크의 건조가 이루어질 수 있도록 한 것이다. 이를 위해, 본체(1)에 설치되어 제 1 카세트(3)내의 웨이퍼(2)를 인출하여 상기 웨이퍼의 플랫존(2a)을 정렬시키는 프리 얼라인부(4)와, 상기 프리 얼라인부에 의해 플랫존(2a)이 정열된 웨이퍼(2)를 받아 불량칩을 체킹하는 프로빙부(5)와, 상기 프로빙부가 웨이퍼(2)의 불량칩을 체킹할 수 있도록 상기 플랫존(2a)이 정열된 웨이퍼(2)를 프로빙부(5)로 이송시켜줌과 함께 체킹완료된 웨이퍼(2)를 제 2 카세트(6)내로 이송시켜주는 척(7)으로 구성된 것에 있어서, 상기 프로빙부(5)와 제 2 카세트(6)사이에 웨이퍼(2)의 불량체킹에 따른 잉크를 건조시켜주도록 건조부를 설치하여서 된 것이다.</p> |
