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发明名称 CHEMICAL ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS58204176(A) 申请公布日期 1983.11.28
申请号 JP19820087705 申请日期 1982.05.24
申请人 KANGIYOU DENKI KIKI KK 发明人 SUDOU MITSUO;MIURA HITOSHI
分类号 C23F1/00;C23F1/02;G03F7/40;H01L21/306;H05K3/06 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
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