| 发明名称 |
CONVEYING SYSTEM OF SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5852841(B2) |
申请公布日期 |
1983.11.25 |
| 申请号 |
JP19750097230 |
申请日期 |
1975.08.12 |
| 申请人 |
KONCHINENTARU GUMI UERUKE AG |
发明人 |
HENRIKU PAKUURU;RAINHARUTO TEIIMAN |
| 分类号 |
B60B21/02;B60B21/04;B60B21/10;B60C15/02 |
主分类号 |
B60B21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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