发明名称 PORTE MAGNETIQUE A GAZ
摘要 PORTE A GAZ POUR REDUIRE LE RETOUR EN ARRIERE DES GAZ PROVENANT D'UNE CHAMBRE VERS UNE CHAMBRE ADJACENTE COMPRENANT UN PASSAGE ETROIT PAR LEQUEL PASSE UN SUBSTRAT, LA PREMIERE CHAMBRE COMPRENANT DES MOYENS POUR Y INTRODUIRE UN GAZ ET LA SECONDE CHAMBRE COMPRENANT DES MOYENS POUR Y INTRODUIRE UN GAZ ADDITIONNEL, LA PORTE COMPRENANT DES MOYENS 72 POUR SOLLICITER LE COTE NON POURVU DE COUCHE DU SUBSTRAT QUI PASSE PAR LE PASSAGE 43 EN CONTACT DE GLISSEMENT AVEC L'UNE DES PAROIS 43A-43B DU PASSAGE, POUR PERMETTRE UNE DIMINUTION DE LA DISTANCE ENTRE LESDITES PAROIS SUPERIEURE 43A ET INFERIEURE 43B DU PASSAGE SANS AMENER LA SURFACE DU SUBSTRAT EN CONTACT AVEC L'AUTRE PAROI DU PASSAGE DE MANIERE A REDUIRE LE RETOUR EN ARRIERE DES GAZ PAR LE PASSAGE DE LA PORTE A GAZ.
申请公布号 FR2527384(A1) 申请公布日期 1983.11.25
申请号 FR19830006541 申请日期 1983.04.21
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES INC 发明人 PREM NAT ET DAVID ATTILIO GATTUSO
分类号 H01L31/04;C23C16/54;F16J15/16;H01L21/205;H01L31/075;H01L31/20;(IPC1-7):01L21/00;16J15/16 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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