| 发明名称 |
Developing device for semiconductor device fabrication and its controlling method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2319633(B) |
申请公布日期 |
1999.02.03 |
| 申请号 |
GB19970011911 |
申请日期 |
1997.06.10 |
| 申请人 |
* SAMSUNG ELECTRONICS CO LIMITED |
发明人 |
DONG-HO * KIM;WOUNG-KWAN * AN;JE-EUNG * PARK;BYUNG-KWAN * LEE |
| 分类号 |
G03F7/30;H01L21/027;(IPC1-7):G03D5/04 |
主分类号 |
G03F7/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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