TECNICA DE FORMACION, POR PIROLISIS EN VIA GASEOSA, DE UN REVESTIMIENTO ESENCIALMENTE A BASE DE OXIGENO Y DE SILICIO.

摘要

LA INVENCION CONSISTE PUES EN UNA TECNICA DE FORMACION PIROLISIS EN VIA GASEOSA DE UN REVESTIMIENTO A BASE DE SILICIO, DE OXIGENO Y DE CARBONO, EN LA SUPERFICIE DE UN SUSTRATO DE VIDRIO EN MOVIMIENTO (10), A PARTIR DE UNA MEZCLA GASEOSA PRECURSORA ESENCIALMENTE DEPROVISTA DE COMPUESTO OXIDANTE Y PRECURSOR ESENCIALMENTE DEPROVISTO DE COMPUESTO OXIDANTE Y QUE COMPRENDE UN SILANO Y UN COMPUESTO ETILENICO, DE MANERA QUE SE MANTENGA EL TIEMPO DE CONTACTO ENTRE ESTA MEZCLA PRECURSORA Y EL VIDRIO EN UN VALOR SUPERIOR AL NECESARIO PARA LA DEPOSICION DE DICHO REVESTIMIENTO SI ESTA FUESE EFECTUADA A PARTIR DE UNA MEZCLA GASEOSA. EL REVESTIMIENTO ASI OBTENIDO TIENE UN INDICE DE REFRACCION COMPRENDIDO ENTRE 1,45 Y 2, PREFERENTEMENTE ENTRE 1,6 Y 1,9 Y SOBRE TODO SU ESPESOR ALCANZA VALORES SUPERIORES A 50NM.