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发明名称
SUPPORTING DEVICE FOR FLOW RATE CONTROL MODULE
摘要
申请公布号
JPS58200196(A)
申请公布日期
1983.11.21
申请号
JP19820083842
申请日期
1982.05.18
申请人
TOKYO SHIBAURA DENKI KK
发明人
KISHI SHIGERU
分类号
G05D7/01;G05D7/00;G21C5/00;G21C5/06;G21C15/02;G21C15/06
主分类号
G05D7/01
代理机构
代理人
主权项
地址
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