发明名称 SUPPORTING DEVICE FOR FLOW RATE CONTROL MODULE
摘要
申请公布号 JPS58200196(A) 申请公布日期 1983.11.21
申请号 JP19820083842 申请日期 1982.05.18
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 KISHI SHIGERU
分类号 G05D7/01;G05D7/00;G21C5/00;G21C5/06;G21C15/02;G21C15/06 主分类号 G05D7/01
代理机构 代理人
主权项
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