| 发明名称 |
Device for surface conversions |
| 摘要 |
The invention relates to a device for surface conversions in low pressure plasma with a reactor customary for conversions of this type and a microwave generator.
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| 申请公布号 |
DE3218307(A1) |
申请公布日期 |
1983.11.17 |
| 申请号 |
DE19823218307 |
申请日期 |
1982.05.14 |
| 申请人 |
TECHNICS GMBH EUROPA |
发明人 |
BELL,GUIDO,DR. |
| 分类号 |
C23C8/36;C23C16/511;H01J37/32;(IPC1-7):C23C11/00 |
主分类号 |
C23C8/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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