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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5851413(B2)
申请公布日期
1983.11.16
申请号
JP19750035474
申请日期
1975.03.26
申请人
HITACHI LTD
发明人
TANAKA TOMOYUKI;OKAMURA MASAHIRO
分类号
H01L29/73;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/329;H01L21/331;H01L29/00;H01L29/74
主分类号
H01L29/73
代理机构
代理人
主权项
地址
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