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发明名称 METHOD FOR DETERMINING DEFECTS IN DIELECTRIC COATINGS DEPOSITED ON SILICON (100)
摘要
申请公布号 BG34716(A1) 申请公布日期 1983.11.15
申请号 BG19820057754 申请日期 1982.08.17
申请人 STOEV,IVAN G.;KOPRINAROVA,JJORDANKA B. 发明人 STOEV,IVAN G.;KOPRINAROVA,JJORDANKA B.
分类号 G01N9/24;G01N31/00;H01L21/18;(IPC1-7):G01N9/24 主分类号 G01N9/24
代理机构 代理人
主权项
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