发明名称 Process for the preparation of technical-grade silicon dioxide
摘要 The invention relates to a process for the preparation of technical-grade silicon dioxide from silicon tetrafluoride in which virtually no residues are formed due to a "recycling" of the silicon tetrafluoride. <IMAGE>
申请公布号 DE3217074(A1) 申请公布日期 1983.11.10
申请号 DE19823217074 申请日期 1982.05.06
申请人 SIEMENS AG 发明人 REUSCHEL,KONRAD,DR.PHIL.NAT.;SCHNOELLER,MANFRED,DR.RER.NAT.
分类号 C01B33/025;C01B33/18;(IPC1-7):C01B33/12;C01B33/02 主分类号 C01B33/025
代理机构 代理人
主权项
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