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发明名称
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申请公布号 DE3034749(C2) 申请公布日期 1983.11.10
申请号 DE19803034749 申请日期 1980.09.15
申请人 HITACHI, LTD., TOKYO, JP 发明人 OKA, HITOSHI, YOKOHAMA, JP;NAKAMURA, KENJI, FUJISAWA, JP;YOKONO, HITOSHI, YOKOHAMA, JP;ISOGAI, TOKIO, FUJISAWA, JP;MATSUO, AKIRAO, YOKOHAMA, JP;MIYAZAWA, OSAMU;TANAKA, ISAMU, YOKOSUKA, JP
分类号 G01N27/333;C23C18/16;G01N27/30;G01N27/416;(IPC1-7):23C3/00 主分类号 G01N27/333
代理机构 代理人
主权项
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