| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN DURCH AETZEN UND AETZMITTEL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3316041(A1) |
申请公布日期 |
1983.11.10 |
| 申请号 |
DE19833316041 |
申请日期 |
1983.05.03 |
| 申请人 |
NATIONAL SEMICONDUCTOR CORP. |
发明人 |
G. BELANI,JAGDISH |
| 分类号 |
C23F1/00;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/31;C08L79/08;C08J3/24;G03F7/00 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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