发明名称 WAERMEBEHANDLUNGSGERAET FUER HALBLEITERPLAETTCHEN
摘要
申请公布号 DE3315003(A1) 申请公布日期 1983.11.10
申请号 DE19833315003 申请日期 1983.04.26
申请人 GCA CORP. 发明人 JEROME WEBER,T.
分类号 H01L21/677;C30B33/00;H01L21/00;H01L21/22;(IPC1-7):F26B3/30;C30B35/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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