| 发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT PLANARIZING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2119166(A) |
申请公布日期 |
1983.11.09 |
| 申请号 |
GB19820019153 |
申请日期 |
1982.07.02 |
| 申请人 |
* MITEL CORPORATION |
发明人 |
CHRISTOPHER K * GROVES;KEVIN * DUNCAN;EDWARD CHENNELL DYOTT * DARWALL |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/312;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/94 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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