| 发明名称 |
ELECTRON PULSE GENERATOR FOR USE IN ANNEALING SURFACES OF SOLIDS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2073943(B) |
申请公布日期 |
1983.11.09 |
| 申请号 |
GB19800025756 |
申请日期 |
1980.08.07 |
| 申请人 |
KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/077;H01J37/317;H01L21/263;(IPC1-7):H01J37/06 |
主分类号 |
H01J37/077 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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