DEPOSITION METHOD USING AN ENERGETIC PARTICLE BEAM,申请号EP19800102246-传众专利搜索

发明名称	DEPOSITION METHOD USING AN ENERGETIC PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号	EP0019725(B1)	申请公布日期	1983.11.09
申请号	EP19800102246	申请日期	1980.04.25
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	CUOMO, JEROME JOHN;GAMBINO, RICHARD JOSEPH;HARPER, JAMES MCKELL EDWIN;KUPSTIS, JOHN DEMOSTHENES
分类号	C23F4/00;C23C14/34;C23C14/46;(IPC1-7):23C15/00;01J37/36	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
主权项
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