发明名称 FORK PLATE ARRANGEMENT TOOL AND APPARATUS FOR TRANSFER A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE HAVING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100575450(B1) 申请公布日期 2006.04.25
申请号 KR20040106754 申请日期 2004.12.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, YOUNG DO
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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