| 发明名称 |
AMORPHOUS FILM OF SILICIDE OF TRANSITION ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58190815(A) |
申请公布日期 |
1983.11.07 |
| 申请号 |
JP19820071419 |
申请日期 |
1982.04.30 |
| 申请人 |
FUTABA DENSHI KOGYO KK |
发明人 |
MORIMOTO KIYOSHI;TAKAGI TOSHINORI |
| 分类号 |
C01B33/06;C22C45/00;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/24;H01L21/203;H01L35/00;H01L35/22 |
主分类号 |
C01B33/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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