| 主权项 |
1.一种搬运装置,其特征为具备:具有朝被搬运物的搬运方向X延伸的主面的基座;朝上述搬运方向X延伸的引导构件;被上述引导构件引导而可朝上述搬运方向X移动的移动构件;被固定于上述移动构件而从上述主面隔着间隙而保持上述被搬运物的保持构件;以及在上述基座上的上述搬运方向X的一部分领域中,对于朝该搬运方向X搬运的上述被搬运物进行气体的吐出及吸引所用的气体吐出吸引机构。2.如申请专利范围第1项所述的搬运装置,其中,上述保持构件是吸附上述被搬运物而可保持。3.如申请专利范围第1项所述的搬运装置,其中,上述引导构件是以一轴所构成。4.如申请专利范围第1项所述的搬运装置,其中,上述保持构件是针对于上述基座的上述主面的法线方向具有弹性。5.如申请专利范围第1项所述的搬运装置,其中,上述保持构件是针对于正交于上述基座主面的法线方向及搬运方向的双方向的方向具有弹性。6.如申请专利范围第1项所述的搬运装置,其中,具备将在平行于上述基座的上述主面的面内的上述被搬运物的旋转调整正常的调整正常旋转手段。7.如申请专利范围第1项所述的搬运装置,其中,在上述基座上的上述一部分领域以外的领域中,具备从上述基座侧朝上述被搬运物吐出气体的第一气体吐出机构。8.如申请专利范围第1项所述的搬运装置,其中,上述被搬运物是玻璃基板。9.一种涂布系统,其特征为具备:申请专利范围第1项所述的搬运装置,及对于上述被搬运物涂布涂布液所用的涂布装置;上述气体吐出吸引机构是在上述一部分领域中,将上述气体吐出及吸引至具有相对向的一对主面的上述被搬运物的其中一方的主面侧;上述涂布装置是在上述一部分领域中,将上述涂布液涂布于上述被搬运物的另一方的主面侧。10.如申请专利范围第9项所述的涂布系统,其中,在上述一部分领域中,位于比上述涂布装置还前段具备于上述另一方的主面侧将气体吐出至上述被搬运物的第二气体吐出机构。11.一种涂布方法,属于一面搬运具有相对向的一对主面的被搬运物一面涂布涂布液的方法,其特征为:对于上述被搬运物一面将气体吐出及吸引至其中一方的主面侧,一面将上述涂布液涂布于另一方的主面侧。12.一种检查系统,其特征为具备:申请专利范围第1项所述的搬运装置,及进行上述被搬运物的检查所用的检查装置;上述气体吐出吸引机构是在上述一部分领域中,将上述气体吐出及吸引至具有相对向的一对主面的上述被搬运物的其中一方的主面侧;上述检查装置是在上述一部分领域中,从上述被搬运物的另一方的主面检查该被搬运物。13.如申请专利范围第1项所述的搬运装置,其中,上述保持构件是具有包含:沿着上述搬运方向延伸的基体部;从上述基体部朝正交于上述基座的上述主面的法线方向及上述搬运方向的双方的方向延设的复数支持梁部;以及分别设于上述复数支持梁部的前端,用以吸附加以保持上述被搬运物的吸附部的保持机构;上述复数支持梁部是至少对于上述基座的上述主面的法线方向分别具有弹性,同时具有本体轴周围的扭转性。14.如申请专利范围第3项所述的搬运装置,其中,分别具备两个上述移动构件及上述保持构件;各该上述移动构件是设置成可独立地控制速度;依各该上述保持构件的上述被搬运物的保持位置,针对于正交于上述基座的上述主面的法线方向及上述搬运方向的双方的方向形成偏离。15.一种保持机构,属于保持板状体的保持机构,其特征为具备:沿着所定方向延伸的基体部;从上述基体部朝与上述所定方向交叉的方向延设的复数支持梁部;以及分别设于上述复数支持梁部的前端,用以吸附上述板状体并加以保持的吸附部;各该上述复数支持梁部是至少对于正交于上述所定方向及该支持梁部的延设方向的双方的方向具有弹性,同时具有本体轴周围的扭转性。图式简单说明:第1图是表示第一实施形态的涂布系统的构成的立体图。第2图是表示第一实施形态的涂布系统的构成的俯视图(涂布装置及起重台架是以一点链线表示)。第3图是表示搬运装置的构成的一部分扩大部。第4图是表示对于具有空气吐出吸引机构的复数孔,说明吸引用的孔(以白圈表示)及吐出用孔(以黑圈表示)相邻接的状态的图式。第5图是表示藉由设置涂布装置的前段的空气吐出机构将空气吐出至玻璃基板的上面的样子的图式。第6图是表示第二实施形态的涂布系统的构成的俯视图(涂布装置及起重台架是以一点链线表示)。第7图是表示用以说明藉由导轨的弯曲使得玻璃基板在与基座的上面平行的面内进行旋转的样子的图式。第8图是表示用以说明调整正常导轨的弯曲所致的玻璃基板的旋转的样子的图式。第9图是表示第三实施形态的检查系统的构成的立体图。第10图是表示第三实施形态的检查系统的构成的俯视图。第11图是表示藉由设于检查装置前段的空气吐出机构将空气吐出至玻璃基板上面的样子的图式。第12图是表示与检查装置一体化的空气吐出机构的图式。第13图是表示用以说明搬运装置的变形例的图式。第14图是表示用以说明搬运装置的其他变形例的图式。第15图是表示具备第14图的搬运装置的保持机构的立体图。第16图是表示说明藉由空气吐出吸引机构来变形玻璃基板的样子的图式。第17图是表示用以说明搬运装置的其他变形例的图。第18图是表示具备第17图的搬运装置的保持构件的构成的立体图。第19图是表示说明玻璃基板的保持位置与滑件速度的关系的图式。第20图是表示用以说明在第17图的搬运装置中调整正常导轨的变形所致的玻璃基板的旋转的样子的图式。 |
