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发明名称
PRODUCTION METHOD OF GROUP ? NITRIDE SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号
KR100692267(B1)
申请公布日期
2007.03.12
申请号
KR20067010518
申请日期
2006.05.29
申请人
发明人
分类号
C30B29/38;H01L33/00;C23C16/34;H01L21/20;H01L21/205;H01L33/12;H01L33/32;H01S5/323;H01S5/343
主分类号
C30B29/38
代理机构
代理人
主权项
地址
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