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发明名称 EPITAXIAL DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 GB2068257(B) 申请公布日期 1983.11.02
申请号 GB19810000818 申请日期 1981.01.12
申请人 PHILIPS NV 发明人
分类号 H01L21/208;C30B19/06;C30B19/10;H01S5/00;(IPC1-7):C03B19/06 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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