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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS58186961(A) 申请公布日期 1983.11.01
申请号 JP19820068844 申请日期 1982.04.26
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 FUTAI MICHIROU;TOYODA NOBUYUKI;HOUJIYOU AKIMICHI;YANAI HISAYOSHI
分类号 H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/24;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
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