| 主权项 |
1.一种离子布植冷却系统,至少包含: 一晶圆,做为离子布植所使用之基材; 一派利电热帮浦,该派利电热帮浦与该晶圆连接, 用以转移离子布植于该晶圆所产生之热量;以及 一散热器,该散热器与该派利电热帮浦连接,用以 吸收该派利电热帮浦之热量; 其中该派利电热帮浦进一步包含:一个低温面板及 一个高温面板,该低温面板与该晶圆固定,及该高 温面板与该散热器连接。 2.如申请专利范围第1项所述之离子布植冷却系统, 其中该散热器系选自水冷却式、冷煤循环式、与 液态氮冷却式散热器之其中之一。 3.如申请专利范围第1项所述之离子布植冷却系统, 其中该散热器系为一机械式散热器。 4.如申请专利范围第3项所述之离子布植冷却系统, 其中该机械式散热器进一步包含一风扇。 5.如申请专利范围第1项所述之离子布植冷却系统, 其中该高温面板与该散热器连接之表面为金属面 。 6.如申请专利范围第1项所述之离子布植冷却系统, 其中该低温面板与该晶圆固定之表面为金属面,及 该高温面板与该散热器连接之表面为金属面。 7.如申请专利范围第1项所述之离子布植冷却系统, 其中该低温离子布植系统使该晶圆之离子布植温 度为低于冰温(0℃)以下。 图式简单说明: 第1图系习知技艺之结构示意图 第2图系本发明之第一实施方式结构示意图 第3图系本发明之第二实施方式结构示意图 第4图系本发明之第三实施方式结构示意图 第5图系本发明之第四实施方式结构示意图 第6图系本发明之第五实施方式结构示意图 第7图系本发明基本物理原理示意图 |
