发明名称
摘要
申请公布号 JPS5847704(Y2) 申请公布日期 1983.10.31
申请号 JP19780047445U 申请日期 1978.04.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/673;H01L21/60;H01L21/68;H01L23/02;H01L23/12;H01L23/48;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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