发明名称 DEVICE FOR MEASURING ELECTROPHYSICAL PARAMETERS OF SEMICONDUCTIVE MATERIAL INGOTS
摘要
申请公布号 SU1051624(A1) 申请公布日期 1983.10.30
申请号 SU19823474008 申请日期 1982.07.22
申请人 G REVOLYUTSII NI PI REDKOMETALLICHESKOJ PROMYSHLENNOSTI 发明人 GUSEV VLADIMIR V,SU;MALININ YURIJ V,SU;MOCHALIN VIKTOR V,SU;RODIONOV LEV F,SU;SMIRNOV BORIS V,SU;KHRYCHEV ALEKSANDR I,SU;SHCHIPUNOV VLADIMIR I,SU;YUSHKIN VYACHESLAV M,SU
分类号 H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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