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发明名称 DEVICE FOR TESTING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 SU1051622(A1) 申请公布日期 1983.10.30
申请号 SU19823406214 申请日期 1982.03.03
申请人 NOVIKOV GENNADIJ N,SU;ZHERDIENKO YURIJ A,SU 发明人 NOVIKOV GENNADIJ N,SU;ZHERDIENKO YURIJ A,SU
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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