发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR MASS PRODUCING ALLOY BY DEPOSITION FROM GAS PHASE
摘要
申请公布号 JPS58185762(A) 申请公布日期 1983.10.29
申请号 JP19830059135 申请日期 1983.04.04
申请人 IGIRISU 发明人 ROBAATO RUISU BITSUKAADEIIKU;DEIBUITSUDO JIYON GOTSUDAADO;BURAIAN UIRIAMU BUAINII;GARIISU HIYUUZU
分类号 C23C16/44;C23C14/00;C23C14/54 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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