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分类关于制程之缺失
摘要
分类相关联于一集合变数之缺失,该等变数系各与一制造参数相关联。基于该等变数之一子集合对一度量的一比重并依据一多变数分析定义一缺失向量。比较该缺失向量与复数个先前定义之缺失向量,以决定一比较値,该比较値指示该缺失向量与该复数个先前定义之缺失向量之间的一相关性。部分基于该比较値,使该缺失向量相关联于指示一已知缺失之一第一集合缺失向量或指示一未知缺失之一第二集合缺失向量之至少一者。
申请公布号
TW200818249
申请公布日期
2008.04.16
申请号
TW096120823
申请日期
2007.06.08
申请人
MKS仪器公司
发明人
罗伦斯 亨德乐;乌吉 乔瑟夫 理夫 安米
分类号
H01L21/00(2006.01);G06F19/00(2006.01)
主分类号
H01L21/00(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
美国
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