发明名称 发送半导体批件之系统
摘要 一种在复数个机台间发送复数个半导体批次之系统。该系统包含一发送伺服管理器与一发送整合与显示装置。发送(dispatch)整合与显示装置传递(convey)一发送要求至发送伺服管理器,而且接受来自发送伺服管理器的发送清单。发送伺服管理器询问此复数个半导体批次的处理状态,而且显示回应该处理状态的发送清单。发送清单包含一相关联理由及/或相关于该处理状态的代码。
申请公布号 TW200818246 申请公布日期 2008.04.16
申请号 TW096103029 申请日期 2007.01.26
申请人 万国商业机器公司 发明人 艾瑞克 泰德 迪克斯坦;艾伦 席德席克;理察 吉拉德 伯达
分类号 H01L21/00(2006.01);G06F19/00(2006.01) 主分类号 H01L21/00(2006.01)
代理机构 代理人 蔡玉玲
主权项
地址 美国