| 摘要 |
Réalisation de motifs d'oxyde métallique (42) sur un substrat (20) adapté pour être utilisé avec des têtes magnétiques à film mince. Le motif d'oxyde métallique présente une géométrie définie avec précision comprenant des parois latérales (32) pratiquement verticales, permettant de réduire au minimum les erreurs de lecture/écriture. En outre, un matériau de remplissage (22) constitué par un composé non magnétique non métallique est déposé sur le substrat en formant un motif complémentaire au motif d'oxyde métallique. Conformément à la présente invention, la surface supérieure du motif d'oxyde métallique (42) et le matériau de remplissage (22) sont coplanaires. Grâce à cette disposition, les couches successives peuvent être déposées uniformément sans discontinuité. Ce procédé comprend une pluralité d'étapes différentes de masquage et de gravure permettant d'obtenir le résultat désiré. |
