发明名称 ELECTRON BEAM SCANNING DEVICE
摘要
申请公布号 GB8325829(D0) 申请公布日期 1983.10.26
申请号 GB19830025829 申请日期 1983.09.27
申请人 JEOL LTD 发明人
分类号 H01J37/09;H01J37/04;H01J37/28;H01J37/302;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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