发明名称 반도체 IC 등의 석판화 제조방법
摘要 <p>내용 없음.</p>
申请公布号 KR830002292(B1) 申请公布日期 1983.10.21
申请号 KR19800001981 申请日期 1980.05.20
申请人 null, null 发明人 아담헬러;킹 리엔 타이;리챠드 쬬지 바딤스키
分类号 H01L21/225 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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