| 发明名称 |
ULTRAVIOLETTE LICHTQUELLE HOHER INTENSITAET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3312398(A1) |
申请公布日期 |
1983.10.20 |
| 申请号 |
DE19833312398 |
申请日期 |
1983.04.06 |
| 申请人 |
HITACHI,LTD. |
发明人 |
YASUDA,MAKOTO;MURAYAMA,SEIICHI |
| 分类号 |
H01J61/20;H01J61/18;H01J61/82;(IPC1-7):H01J61/18;H01J61/94 |
主分类号 |
H01J61/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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