| 发明名称 |
UEBERTRAGUNGSVORRICHTUNG MIT EINER AUTOMATISCHEN SCHARFEINSTELLEINRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3313111(A1) |
申请公布日期 |
1983.10.20 |
| 申请号 |
DE19833313111 |
申请日期 |
1983.04.12 |
| 申请人 |
CANON K.K. |
发明人 |
SATO,HIROSHI;YABU,SHUICHI;KOSUGI,MASAO |
| 分类号 |
G03B27/32;G02B7/36;G03B27/34;G03F7/20;G03F7/207;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G02B7/11;H01L21/68 |
主分类号 |
G03B27/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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