| 发明名称 |
ETCHING METHOD OF SHADOW MASK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58177471(A) |
申请公布日期 |
1983.10.18 |
| 申请号 |
JP19820059560 |
申请日期 |
1982.04.12 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI KK |
发明人 |
OOOKA KOUJI;KUDOU MAKOTO;OOTAKE YASUHISA |
| 分类号 |
H01J9/14;C23F1/00;H01J9/02;H01J29/06 |
主分类号 |
H01J9/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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