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반도체 웨이퍼 정렬장치는 제 1 반도체 웨이퍼의 제 1 표면을 제 2 반도체 웨이퍼의 제 1 표면 정반대에 위치시키기 위한 장비; 및 상기 제 1 반도체 웨이퍼 상의 제 1 구조체를 상기 제 2 반도체 웨이퍼의 상기 제 1 표면에 정렬시키기 위한 장비를 포함한다. 상기 정렬장비는, 정렬시 이동하고 상기 제 1 반도체 웨이퍼의 상기 제 1 표면과 상기 제 2 반도체 웨이퍼의 제 1 표면 사이에 삽입되도록 구성된 적어도 하나의 이동가능한 정렬 디바이스를 포함한다. 상기 위치를 지정하기 위한 장비는 상기 정렬 디바이스 모션의 진동 및 움직임으로부터 분리된다. |
