发明名称 |
MICROELECTRONIC FABRICATION METHOD MINIMIZING THRESHOLD VOLTAGE VARIATION |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0017719(B1) |
申请公布日期 |
1983.10.12 |
申请号 |
EP19800100694 |
申请日期 |
1980.02.11 |
申请人 |
ROCKWELL INTERNATIONAL CORPORATION |
发明人 |
MADDOX III, ROY LYNWOOD |
分类号 |
H01L21/339;H01L29/762;H01L21/265;H01L21/8247;H01L27/108;H01L29/10;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):01L21/265;01L27/10;01L29/10 |
主分类号 |
H01L21/339 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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