发明名称 MICROELECTRONIC FABRICATION METHOD MINIMIZING THRESHOLD VOLTAGE VARIATION
摘要
申请公布号 EP0017719(B1) 申请公布日期 1983.10.12
申请号 EP19800100694 申请日期 1980.02.11
申请人 ROCKWELL INTERNATIONAL CORPORATION 发明人 MADDOX III, ROY LYNWOOD
分类号 H01L21/339;H01L29/762;H01L21/265;H01L21/8247;H01L27/108;H01L29/10;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):01L21/265;01L27/10;01L29/10 主分类号 H01L21/339
代理机构 代理人
主权项
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