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본 발명의 과제는 평판 형상 부재 흡인 장치 전체의 구성을 대규모로 하지 않고 평판 형상 부재의 사이즈에 대응한 흡인 영역을 간단한 조작으로 형성하는 것이다. 베이스 플레이트(210)에 적층되어, 기준 위치와 슬라이드 위치로 할 수 있는 부재 대면 플레이트(220)를 갖고, 베이스 플레이트(210)에는 베이스 플레이트측 흡인 구멍(211)이 형성되고, 부재 대면 플레이트(220)에는 부재 대면 플레이트측 흡인 구멍(221)이 형성되어 있고, 부재 대면 플레이트측 흡인 구멍(221)은, 기준 흡인 구멍(221a)과 기준 흡인 구멍 사이에 형성된 추가 흡인 구멍(221b, 221c)으로 이루어지고, 부재 대면 플레이트(220)를 기준 위치로 했을 때에는 기준 흡인 구멍(221a)과 베이스 플레이트측 흡인 구멍(211)이 대향해서 기준 흡인 영역이 형성되고, 슬라이드 위치로 했을 때에는 예를 들어 추가 흡인 구멍(221b)과 베이스 플레이트측 흡인 구멍(211)이 대향해서 기준 흡인 영역과는 다른 크기를 갖는 특정 흡인 영역이 형성된다. |
