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发明名称 HOCHGESCHWINDIGKEITS-VAKUUMABSPERRSCHIEBER
摘要
申请公布号 DE3310592(A1) 申请公布日期 1983.10.06
申请号 DE19833310592 申请日期 1983.03.23
申请人 VARIAN ASSOCIATES,INC. 发明人 JOHN HERTEL,RICHARD
分类号 F16K3/18;F16K51/02;(IPC1-7):F16K51/02;F16K3/10;H01J37/18;H01L21/26 主分类号 F16K3/18
代理机构 代理人
主权项
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