Ceramic magnetic head slider.

摘要

Ein Magnetkopfgleiter (1), der aus einer Aluminiumoxid/Titancarbid-Mischkeramik besteht, weist auf seiner Gleitseite (2), welche dem magnetischen Aufzeichnungsträger gegenübersteht, eine dünne oberflächennahe Schicht (4) auf, in der die Titancarbid-Komponente entfernt ist. Die Entfernung der Titancarbid-Komponente kann durch präferentielles reaktives lonenätzen in einem CF4-Plasma erfolgen. Der Magnetkopfgleiter (1) mit derart modifizierter Gleitfläche (2) weist extrem verbesserte Gleiteigenschaften gegenüber Gleitern des gleichen Materials, jedoch unmodifizierter Gleitfläche auf.