发明名称 MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 GB8323336(D0) 申请公布日期 1983.10.05
申请号 GB19830023336 申请日期 1983.08.31
申请人 GARTEK SYSTEMS INC 发明人
分类号 H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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