发明名称 METHOD OF PRODUCING A ONE-TRANSISTOR MEMORY CELL EMPLOYING THE DOUBLE SILICON LAYER TECHNIQUE
摘要
申请公布号 EP0053672(A3) 申请公布日期 1983.10.05
申请号 EP19810108182 申请日期 1981.10.09
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HOFMANN, RUDIGER, DR.
分类号 H01L27/10;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/32 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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