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发明名称 Thin film capacitors
摘要 A capacitor is formed by placing between two electodes a thin film of amorphous titanate which has been ion implanted with noble gas ions.
申请公布号 US4408254(A) 申请公布日期 1983.10.04
申请号 US19810322360 申请日期 1981.11.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHU, WEI-KAN;HOWARD, JAMES K.
分类号 C01G23/00;C23C14/48;H01B3/00;H01G4/10;H01G4/12;H01G4/33;(IPC1-7):H01G4/20 主分类号 C01G23/00
代理机构 代理人
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