| 发明名称 |
DEVICE FOR MATCHING INTEGRATED CIRCUIT PRODUCING MACHINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58165326(A) |
申请公布日期 |
1983.09.30 |
| 申请号 |
JP19830037583 |
申请日期 |
1983.03.09 |
| 申请人 |
UROMASUKU |
发明人 |
POORU TEIGUREA;ROORAN BERUJIYU;ORIBUIE INIETSUTO |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F9/00;H01L21/027;H01L49/00 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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